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最終更新日:2010年04月19日

大宮工業株式会社 営業本部営業課
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部品の修復、内製から組付後のバランス修正まで全て対応いたします。

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スピンドライヤーの改造メンテナンスはお任せ下さい。回転機械等その他の装置も対応可能です。 大宮工業の製品のみならず、メーカーを問わずスピンドライヤーの改造・メンテナンスを承ります。シングルスピンドライヤーも対応可能です

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用途/実績例

改造例: ・ウエハのインチサイズ変更に伴うチャンバー及びクレードルのサイズ変更。 ・乾燥処理数の増加に伴うクレードルの増設。 メンテナンス例: ・スピンドライヤー本体内外部の清掃 ・錆発生部の錆取り処理及び汚れ落とし ・振動による不具合の修正 ・ソフト入れ替え、シーケンサー配線直し ・部品の新規製作、修理、取付、調整 ・組付け後のバランス取り ・エージング、出荷検査

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大宮工業株式会社は、精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の 製造・販売及び回転機器メンテナンスを行っております。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。

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