スピンドライヤー
カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可能にしています。 小口径サイズから大口径サイズまで 1カセット卓上型から4カセット自立型まで各種対応 【特長】 ・小型コンパクト設計 ・高乾燥能力 ◆詳細仕様はカタログをご覧ください。◆
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基本情報
カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可能にしています。 小口径サイズから大口径サイズまで 1カセット卓上型から4カセット自立型まで各種対応 【特長】 ・小型コンパクト設計 ・高乾燥能力 ◆詳細仕様はカタログをご覧ください。◆
価格情報
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企業情報
前工程(フォトリソ関連)装置各種、マニュアル式のスピンコーター(Si、液晶ガラス、化合物 他)など、試験研究用の装置から生産用自動装置各種を設計、製造、販売しております。 [半導体・液晶用試験研究開発、生産関連機器] 各種洗浄機（ウェット、ドライ）、スピンコーター、マスクアライナー、現像・エッチング装置、各種真空装置、プローバー、膜厚測定用ドリラー など