インライン溶存オゾン計 マイコン型
半導体プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をインラインにてモニターする紫外線吸光光度方式の計器です。 配管口径はΦ６×４～１インチまで（継ぎ手による為、詳細はお問合せください）様々な現場環境に対応しています。 濃度レンジも、０～10ppm から ０～240ppmまで マイコンを内蔵しているので、個体差のある低圧水銀ランプの運用を安定的に測定可能です。 古くなった機器もオーバーホールを行うことで、継続してご利用いただけます。
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基本情報
半導体プロセスなどで使用されるオゾン添加純水中の溶存オゾン濃度をインラインにてモニターする紫外線吸光光度方式の計器です。 ・配管口径：Φ６×４ から １インチ ※継ぎ手メーカーによりますので、詳細はお問合せください。 ・濃度レンジ：０～10ppm から ０～240ppm
価格情報
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納期
※1〜2ヶ月
用途／実績例
主に半導体工場
カタログ（1）
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企業情報
弊社は、東北大学大見教授の永年のご指導により開発しました、溶存オゾン計をメインに製造・販売しています。 最先端分野に生かすアイデアをモットーに、今後も、お客様のお役に立てる製品作りを進めてまいりますので、よろしくお願いいたします。