半導体用発熱体
半導体製造に使われる拡散炉用ヒーター、CVD炉用ヒーターを提供
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基本情報
横型、縦型の既存半導体製造装置に使われているほとんどすべての 炉に対して提供が可能です。 またヒーター設計に関して数々の特許を有しており、長寿命化、均熱化 への提案もさせて頂きます。 □■ラインナップ■□ ■ヘビーゲージヒーター（太線） 主に、横型・縦型の拡散プロセスにて用いられるヒーターです。 独自技術のインターロッキングシステム、及び新材料粉末焼結ヒーター(APM-HP) の採用により、長寿命が期待できるヒーターです。 ■ミディアムゲージヒーター（中細線）／ライトゲージヒーター（細線） ローマスヒーターで 中・低温度域にて優れた温度の均一性を確保し、 急速昇温できるような電力密度が高い ■急速昇降温システム(FastCool) 弊社所有の強制空冷システムを採用したヒーターシステムです。 循環時間の短縮とQSS問題解決に最適の解決策を提供いたします。 ■少量からでも対応致します。詳細は、お問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
半導体製造装置(特に拡散炉、各種CVD炉)に使われる電気ヒーターではすでに多くの 実績を有している世界で最も実績を有する信頼性の高い高品質のヒーターは、すでに世界中のデバイスメーカー様、太陽電池セル製造メーカー様でご採用頂いております。 既存の設備に対しましても、ヒーターメーカーとしての独自の設計、アイデアにより より高付加価値のヒーターのご提案もさせて頂きます。
企業情報
スウェーデン本社にてヒーター材料を製造し、国内で設計製造を行うことで、日本のお客様のニーズに合った形のヒーティングシステムを提供しております。 千葉県の佐倉市に国内製造拠点を有し、こちらで最終製品に加工し、日本のお客様にお届けしております。 国内設計製造にこだわることで、納期への対応やアフターサービスに十分ご満足頂ける体制をとっております。
