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最終更新日:2025年09月02日

蒲田工業株式会社
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◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。 ◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。 ◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。 ◆測定データは2次元・3次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています(パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください)。

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シリコンウェハ用圧力分布測定システム

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基本情報

◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。 ◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。 ◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。 ◆測定データは2次元・3次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています(パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください)。

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