45年以上のロングセラーモデル 手軽に電極膜作製ができるデスクトップタイプ コンパクトDCスパッタ
45年以上に渡るロングセラーモデル 小さなボディながらも、電極用薄膜作製から電子顕微鏡(SEM)用試料作製まで対応。 オフィスのデスクに置かれていても違和感のないデザインとコンパクトさ!! 【特徴】 〇スモール＆コンパクト 〇ベルジャーを持ち上げる必要のない前面ドア開閉方式 ⇒ サンプルのセット/取出しが楽に行なえます。 〇間欠スパッタ機能を標準搭載 〇多彩なオプションをご用意：シャッター付前面ドア/アルミ製前面ドア/ピラニー真空計取付ポート付前面ドア etc.
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基本情報
【仕様】 〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag 〇試料サイズ：φ50mm(Max) 〇排気操作：手動式 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式：DC/平行平板型 〇寸法(W/D/H)：160/326/286mm
価格情報
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価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途／実績例
■ デバイス用電極薄膜作製用 ■ 反射膜作製用 ■ 電子顕微鏡(SEM)用試料作製用途
カタログ（4）
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企業情報
経営理念は、「コア技術で研究開発の未来を切り拓く」こと。 研究／開発に携わる方々が、実験において必要とするものを必要なときに提供させていただくことをモットーとし、“装置の機能拡張性を高める”とともに、“多彩なオプション”をご用意しております。 また、“フットワークの軽さ”を武器に、お客様の様々なニーズにお応えできるよう、日々努めております。