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真空用エキシマUV洗浄改質装置

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Vaccum Excimer Cleaning and surface modification system

最終更新日:2019年06月04日

株式会社エキシマ 横浜ラボ
株式会社エキシマ 横浜ラボ
  • 公式サイト

大面積SUS真空チャンバー内径250mm、深さ100mm採用

シンプルなシステム構造でさまざまな照射条件を実現します。

    その他加工機械その他半導体製造装置オゾン発生装置
vacuum

真空用エキシマUV洗浄改質装置

vacuum excimer.jpg
vacuum excimer.jpg
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基本情報

シンプルなシステム構造でさまざまな照射条件を実現します。

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用途/実績例

真空環境内の表面改質、精密な表面処理、濡れ性改善等

企業情報

株式会社エキシマ

株式会社エキシマ 横浜ラボ

研究・開発用機器・装置

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当社は長年の経験と豊富な実績に基づきエキシマUV応用技術メーカーとして企業、研究機関、大学等のさまざまなニーズに最新のエキシマ表面処理を供給いたします。 ユーザーの立場に立った仕様や予算に応じた設計製作する専門メーカーです。 エキシマUV洗浄表面改質処理と表面評価用接触角計は弊社ご相談ください。

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