USB簡易型膜厚測定装置
従来の接触式では測定不可能であった300nm〜30μm(100μm)までの光学膜厚を再現性良く測定します。
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基本情報
光を透明または半透明膜に照射し、その光のスペクトル情報から膜厚を算出するので、サンプルを傷付けず、再現性良く測定する方法として注目されています。 光ファイバーでサンプルを照射するので、場所を選ばず、インライン使用も可能になりました。 アクチュエータとの併用で、簡単なマッピング膜厚測定も実現します。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
測定可能サンプルをご紹介致します。 １）フィルム ２）シリコン、窒化シリコン、酸化シリコン ３）接着剤、コーティング剤 ４）色素膜、油膜、カラーフィルター膜 ５）空気層 ６）フォトレジスト ７）酸化チタン ８）誘電体膜、金属酸化膜 ９）UV硬化樹脂 １０）ガリウム砒素 １１）CD、MD、DVD １２）ポリマー
カタログ（1）
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企業情報
光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査（膜厚測定、プラズマモニターなど）をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発