装置組み込みに容易なサイズで高速分光測定する分光器
超小型なサイズの分光ボディに石英光ファイバーがついてますので計測時に場所を選びません。各検出パーツもCarl Zeissの独特な技術でモールドされておりますので故障も無く、キャリブレーションも一切必要ありません。オンラインでの使用にも簡単で、各インターフェースとの接続が可能です。顕微タイプの光学系を使用すれば微細な箇所の測定ができますし、また逆に大きな測定物への対応はマルチチャンネル測定や専用アクチュエータとの併用で問題なく実現できます。
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基本情報
約70×60×40mm3という大きさの中に光を分光測定するユニットが存在するということは従来全く考えられなかった技術です。それをドイツCarl Zeiss社が実現しました。これにより、各種分光測定装置OEM組み込みやFA上での品質モニターというテーマに光検出を取り入れることが極めて容易になりました。温度変化、結露、振動にも強くスペースシャトル内での50Gという重力にも耐えました。今までの常識を覆す超小型分光器です。
価格情報
定価：297,000円〜 発注は1個から可能
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
2・3日
用途／実績例
色測定（オフセット印刷機内の色測定管理、印刷物・紙・インキ・液体の色評価、色度算出）膜厚測定（ウエハー上でのSiO2膜、フォトレジスト膜、誘電体膜、フィルムの厚み、油膜などの透明／半透明膜の高速厚み計測）発光測定（半導体プロセスのプラズマモニター、太陽光の計測、光通信デバイスの赤外光透過／反射測定、PDPやELの光測定） 非破壊測定（食物の糖度／酸度測定、土壌検査など） 波長計測（LDやレーザーポインターの出荷時の高精度な波長計測）
カタログ（1）
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企業情報
光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査（膜厚測定、プラズマモニターなど）をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発
