フィルムや板状の膜厚を非破壊的にライン測定
まず、各装置構成部がシンプルにできており、各御客様のニーズに対し、カスタマイズしたパッケージングでご紹介が可能であり、コストダウンにも最適かと思われます。測定算出方法もFFT法という信頼性の高い方法を採用しておりますので安心してデータ収集できます。
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基本情報
各酸化膜、シリコン、フォトレジスト、各種フィルム、油膜、コーティング材、接着剤、金属酸化膜、誘電体膜などを光の干渉を用いて、非接触にそれら厚みを高精度に測定します。主にハロゲン光を使いますので、人体への影響も無く、場所も選びません。アクチュエータの仕様により、サンプルのサイズにも簡単に対応出来ます。
価格情報
600万〜1000万円
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
最近の例としては、フィルムの厚みを精度良く測定するアプリケーションが多く、各化学メーカーからの問い合わせも多く寄せられております。ディスプレイやディスクなどの上に塗布されております透明膜にも有効であり、メガネレンズのコート膜への測定などへも採用されました。
企業情報
光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査（膜厚測定、プラズマモニターなど）をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発