コンパクトな多元蒸着源
超高真空中で試料表面に微量の金属または有機物を蒸着できる多元蒸着源です。オプションでシャッターや膜厚測定機能を追加できます。 <特長> ・コンパクトかつコストパフォーマンスに優れたルツボ式3元または4元蒸着源 ・多元高温用エバポレーター (温度範囲700°C～1700°C）UE-103C/104Cシリーズと多元エバポレーター (温度範囲150°C～800°C) UE-203C/204Cシリーズの2機種をラインナップ ・シャッター追加、膜厚測定機能 (オプション) <用途> 超高真空中でターゲット試料表面へ微量な金属または有機物の蒸着
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基本情報
<仕様>UEシリーズ共通： 加熱方式 ：フィラメント通電加熱方式 ルツボ容積 ：内径2.6×深さ6 mm (充填量はルツボ容積の1/2以下を推奨) ルツボ数 ：シャッター機能なし: 4個 ：シャッター機能あり: 3個 ※ルツボ交換はエバポレーター本体の引き取り、分解、交換、再組み立て (有償作業) が必要 取付けフランジ ：ICF70 ターゲットまでの距離：ルツボヘッド先端から100mm以上 (標準蒸着源サイズでは取付けフランジから200mm以上推奨) 取付け方向 ：水平面から30°以上上向きに取付けが必要 （オプション） シャッター ：回転導入機による手動開閉 膜厚計 ：シャッター板のルツボ側面に設置
価格情報
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納期
用途／実績例
■ 金属用高温エバポレーター （ＭＥ−１０３Ｃ／１０４Ｃシリーズ） 本体金属用高温蒸着に特化したエバポレーター。 最高１７００℃までの多元蒸着が可能です。 ■ 有機分子用エバポレーター （ＭＥ−２０３Ｃ／２０４Ｃシリーズ） 本体８００℃以下で使用可能な真空蒸着用エバポレーター。 有機分子等の多元蒸着に最適 です。
企業情報
ユニソクは、ユニークな測定機器のクリエーターをめざして1974年に発足しました。主に超高真空型の走査型プローブ顕微鏡(SPM)を自社開発し大学、公的機関、及び民間企業や研究所に販売しているメーカーです。長年に渡って高速分光測定装置や走査型トンネル顕微鏡等、先端的な測定機器の開発、製品化を行い国内及び海外の大学や研究機関に納入し、その技術内容は基礎研究分野の研究者から高い評価を得ております。近年、走査型プローブ顕微鏡は、特に試料表面の原子レベルでの観測手段として、近年、著しく高性能化、多機能化が進んでいます。その用途も主に物理学分野から化学、バイオ関連分野に広がりつつあり、まさにナノテクノロジー、ナノサイエンスに欠かせないツールだと言えます。
