自動検査機への搭載に適したレーザー顕微鏡
【概要】 顕微鏡の光源としてレーザーを使用しているので、単一波長による安定した計測が可能。 レーザースキャンにDMD(Dgital Micromirror Device・デジタル マイクロミラー デバイス)を採用することで、高速＆広角偏向が可能となり、従来のレーザー顕微鏡以上の広視野を高速で画像取得することが可能となりました。 【特長】 ●コンフォーカルによる全焦点画像 共焦点方式を採用により、平面および高さの計測を必要とする検査に適してます。 ●短波長レーザー採用 レーザー波長は、可視光限界に迫る４０８ｎｍバイオレットレーザを採用。 ●同時観察機能 レーザー光源のリアル画像と２次元カラーＣＭＯＳカメラのリアルタイム同時観察が可能。 ●高速計測機能 毎秒３０フレームという高速描画により、ほぼリアルタイムに検査箇所の画像および計測データ出力が可能となっており、自動検査への導入に適しています。 ★詳細は、資料請求もしくはカタログをダウンロード下さい★
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基本情報
【概要】 顕微鏡の光源としてレーザーを使用しているので、単一波長による安定した計測が可能。 レーザースキャンにDMD(Dgital Micromirror Device・デジタル マイクロミラー デバイス)を採用することで、高速＆広角偏向が可能となり、従来のレーザー顕微鏡以上の広視野を高速で画像取得することが可能となりました。 【特長】 ●コンフォーカルによる全焦点画像 共焦点方式を採用により、平面および高さの計測を必要とする検査に適してます。 ●短波長レーザー採用 レーザー波長は、可視光限界に迫る４０８ｎｍバイオレットレーザを採用。 ●同時観察機能 レーザー光源のリアル画像と２次元カラーＣＭＯＳカメラのリアルタイム同時観察が可能。 ●高速計測機能 毎秒３０フレームという高速描画により、ほぼリアルタイムに検査箇所の画像および計測データ出力が可能となっており、自動検査への導入に適しています。 ★詳細は、資料請求もしくはカタログをダウンロード下さい★
価格情報
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納期
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企業情報
大倉インダストリー（株）では、ウエハエッジプロファイル計測装置以外にも、 レーザー顕微鏡など、光学機器やメカトロ機器の製品の設計・製造・販売を 行っております。 顕微鏡を応用した自動検査装置、観察評価装置のカスタム品 対応が可能で、検査に最適な、波長、視野、検査方式、ソフトなど柔軟に対応致します。
