【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性も備えたステージ！
光学式リニアスケールを搭載して検出誤差を少なくした高分解能ロングストローク位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 200mm 』『 300mm 』『 400mm』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-401との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-101との組み合わせ
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基本情報
ロングストロークが特徴的なステージです。 フィードバックステージコントローラFC-401又はFC-101との組み合わせで50nm 又は100nm分解能の制御を行うことができます。 またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■
価格情報
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納期
用途／実績例
フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。