立体レジスト塗布／現象、複合装置 DC120
MEMSデバイス、各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。 【特徴】 ○レジスト塗布作業と現像作業を、1台で行う事が可能。 ○スプレー塗布、現像液塗布等の工程を、プログラムにより自由に組み込み可能。 ○ノズルを2個装備。塗布する液体も2種類の設定可能。 ○塗布作業から現像作業に移行するには、塗布台の交換、薬液交換、フィルター部取り外し等作業が必要ですが、最小限の作業になります。 ○スプレー装置は弊社で実績のある「スプレーコーター DC110」を踏襲。 ○現像液などの回収も、下部のパンより回収可能。 ○制御用コントローラは弊社で実績のある「Cuty-Pair」を使用。サーボモータも弊社製品「Si-Servo」を使用。 ○特殊仕様承ります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
MEMSデバイス、各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。 【特徴】 ○レジスト塗布作業と現像作業を、1台で行う事が可能。 ○スプレー塗布、現像液塗布等の工程を、プログラムにより自由に組み込み可能。 ○ノズルを2個装備。塗布する液体も2種類の設定可能。 ○塗布作業から現像作業に移行するには、塗布台の交換、薬液交換、フィルター部取り外し等作業が必要ですが、最小限の作業になります。 ○スプレー装置は弊社で実績のある「スプレーコーター DC110」を踏襲。 ○現像液などの回収も、下部のパンより回収可能。 ○制御用コントローラは弊社で実績のある「Cuty-Pair」を使用。サーボモータも弊社製品「Si-Servo」を使用。 ○特殊仕様承ります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
ＭＥＭＳデバイス ビア トレンチ埋め込み等塗布、現像
企業情報
モーション・サーボ・システム・精密機械・筐体技術をコア技術として、今後、ますます多様化するニーズにお応えして行くため、弛まぬ努力をしてまいります。