半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介
スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現 ○コンパクト設計の為移動に便利 ○省スペースの真空ポンプ ○ポンプ内温度コントロールが可能
この製品へのお問い合わせ
関連動画
基本情報
●ポンプに関してその他機能や詳細については、カタログダウンロード もしくはお問い合わせ下さい。
価格情報
各種仕様により価格は変動します。詳しくはお問い合わせください。
納期
用途／実績例
【用途】 CVD、ETCH、ロードロック、PVD、トランスファチャンバー、 イオン注入機 など
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
【真空ソリューションのワンストップショップ】 ブッシュグループは世界最大級の真空ポンプ、真空システムメーカーです。ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプともに多様なメカニズムの製品を揃え、幅広くサイズ展開しています。高真空を得意とする真空ポンプメーカー「ファイファー・バキューム（Pferiffer Vacuum + Fab Solutions)」をグループ傘下に持ちます。世界の幅広い産業界で積み重ねたノウハウで、真空システム設計や導入後のサービスも含め、お客様のアプリケーションに合わせた真空ソリューションを提供しております。 【グローバルおよび国内展開】 世界45ヵ国に現地法人を戦略的に配置しております。ビジネスをグローバル展開するお客様を、現地でもサポート可能です。 国内でも1981年の日本法人設立以来、日本に根差した経営に努めてまいりました。設立間もない1985年には神奈川県平塚市にサービス拠点兼物流倉庫を構え、2004年には本社ビルに統合して拡充を図ったのもその一環です。現在ではサービス拠点も拡充を続け、日本全国のお客様をサポートする体制を整えています。
