薄膜光学特性を非破壊で測定！ 手軽に高精度測定できる分光エリプソメトリー
日本セミラボの分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。 薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率（N,K値）波長分散を算出。研究開発からインライン生産品質管理ほかあらゆる分野で活躍しています。 【測定可能な物理特性】 ■厚さ光学屈折率 ■屈折率の勾配と材料組成 ■ドーパント濃度
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基本情報
【豊富な製品バリエーション】 ○研究開発用途 ○大型パネル自動測定 ○ロールツーロール測定 ○FTIRオプション ○光学式細孔率 ○細孔分布測定 などあらゆる製品をご提案可能 【薄膜太陽電池向け分光エリプソメーター】 ○アモルファスシリコン ○微結晶シリコン ○GIGS ○CdTe ○DSSC ○有機物等の、光学特性の測定が可能 ○ITO膜 【測定可能な物理特性】 ○膜厚と光学屈折率(n,k) ○屈折率の勾配と材料組成 【アプリケーション】 ○半導体 ○シリコン、有機、化合物半導体 ○太陽電池 ○有機EL ○LED ○ポリマー ○フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ） ○医療、バイオ ○ＰＥＴフィルム ○燃料電池 ○グラフェン 【仕様】 ○波長範囲：190nm-2400nm ○測定スピード：全波長範囲 1秒～ 【オプション】 ○FTIR ○ポロシメーター ○マイクロスポット ○コンペンセーター ○自動マッピング・ステージ ○シート抵抗 ○反射率計 ○ラマン分光 ○透過率計 仕様や価格については、お気軽にお問い合わせください。
価格情報
- 波長範囲などの仕様によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせ下さい。気軽にお問い合わせください。
納期
※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
半導体、太陽電池、フラットパネルディスプレイに非常に多くの実績があります。 ※無料カタログをご用意しております。 ダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
詳細情報
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比抵抗率・シート抵抗測定オプション Eddy Currents（渦電流法）による比抵抗率・シート抵抗測定機能。非接触で精度良い測定が可能です。
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反射率測定オプション 長寿命キセノンランプと２層構造の石英光ファイバーを使用。非接触で高精度の反射率測定が可能です。
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ラマン分光オプション ラマン分光によるリアルタイム・モニタリングと特性評価。 非接触で、材料の結晶度や組成が高精度で測定可能。
カタログ（2）
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企業情報
Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。