3次元アトムプローブ装置改善事例
◆◇◆経緯◆◇◆ 3次元アトムプローブ装置（3D-AP）において、Tip（アトムプローブ分析では 試料表面に高電界を加えるために針状の試料を用いる）表面からの電界蒸発を、 従来の高圧印加ではなく、レーザー照射により行う事となった。 その為、Tip先端にレーザーを局所的に照射する必要がある。 しかし、FIM像（原子）を安定させる為に用いている冷凍機の振動により、 Tip先端へのレーザーの照射位置を確定する事が困難となっていた。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
◆◇◆対処法◆◇◆ 冷凍機の先端部に直接Tipホルダーを取り付け冷却していた為、 どうしても振動を拾ってしまう機構になっていた。 そこで今回は振動をなくすために、冷凍機とTipを分離させ、 冷凍機の振動を拾わない構造へと改良を行った。 ◆◇◆構成◆◇◆ ◆固定方法 冷凍機と独立したフランジよりスタットを設け固定。 ◆冷却方法 冷凍機先端より銅板を用いてTipホルダー固定用の治具の冷却行う。 Tipホルダーの冷却は、冷凍機の先端よりブレード（Ag）を用い冷却を行う。 ※最小部材のみを冷却する事に変更 ◆◇◆成果◆◇◆ 今回の改良により、Tip先端がほぼ無振動に近い状態となり、レーザーを 局所的に照射する事が容易になった。また、冷却部を最小範囲とした事により、 冷却能力のアップが実現出来た。
価格情報
-
納期
用途／実績例
詳細は、お問い合わせ下さい。
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
北野精機の歴史は研究開発用精密機器の提供を通して、 常に最先端の研究分野に貢献し続けてきた軌跡でもあります。 1958年（昭和33年）11月 精密機器の設計・製造・販売会社として設立されて以来、 大学・官公庁の研究所をはじめ民間企業の基礎研究所に 向けた実験機器の開発・製造を手がけ、その優れた品質 と信頼性には高い評価をいただいています。 特に近年、新素材やナノテクノロジー、フラットパネル ディスプレー、高温超電導、太陽電池、原子力、宇宙開発 など産業分野に必要不可欠な超高真空・極低温技術に ついては、他社に先駆けていち早く取り組み、その実験 環境づくりに豊富な技術・ノウハウを蓄積し、高度な性能・ 機能を凝縮した機器の開発・提供に結び付けています。 北野精機では、つねにユーザーである研究者の方々と 密接に連携し、研究・開発目的を的確にサポートする 機器を設計・開発。 部品づくりから各種処理、組立、検査・テスト、装置立ち 上げ、アフターサポートまでの一貫した体制で、高品質 の製品と良質な研究開発の実験環境を提供しています。