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Linear Ion Source

最終更新日:2025年11月25日

パーカー熱処理工業株式会社
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広範囲に良質蒸着コーティング膜を形成

大部分の不活性ガス及び活性ガスの一部などで簡単にイオンが得られる、真空蒸着システム

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真空蒸着システム Linear Ion Source

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このLISシステムは、closed-drift,またはanode-layer ion beam source の 形式で、広い面積(数cm〜120cm)を均一にイオンビームを照射することができ、 比較的に高いエネルギー(50〜1500eV)を得ることができます。 また大部分の不活性ガス及び活性ガスの一部などで簡単にイオンが得られる メリットを持っています。 ■□■メリット■□■ □蒸着工程時間に安定的なイオン化エネルギー □広範囲に良質蒸着コーティング膜を形成 □安い工程維持費 □Ar,O2,N2,gasなどを利用したcleaning ●その他詳細は、資料請求またはカタログをダウンロードして下さい●

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用途/実績例

洗浄、蒸着、そしてイオン補助蒸着などがありDLCコーティングは炭化水素系列のガスなどを利用します。 □■□アプリケーション□■□ ■金型 ■自動車の部品 ■Metal Mask ■Ceramic

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最先端技術の追求は、同時に自然環境に対する負荷を極限まで小さくする取り組みと私たちは考えています。 この美しい地球の海、川、山に住む生物たちとの共存を可能にするため、私たちのテクノロジーが、ものづくりのプロセスのなかで活躍しています。 エコロジーに対する思いやりをもちながら、私どもはサーマルサイエンスのフォアランナーとして、無公害自動車開発へ向けての機械機能向上技術などスペシャリティを追求した付加価値の高い製品開発を推進しています。 そして、多角的な経営展開と競争力のある製品技術の新規分野への参入など積極的な事業展開により、経営基盤の安定化を図っています。 また世界最高レベルの技術を保持するトップリーダー各社との技術提携により、新しい時代感覚と高度な技術力を蓄えて、世界中のユーザー様から厚い信頼を得ております。

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