ランプアールユニット
急速加熱、高精度温度分布を実現した ランプアールユニット 【特徴】 ○サークル形状の高出力赤外線ランプヒーターを用いて 基板の上下から加熱することで、急速加熱・高精度温度分布を実現 ○チャンバー内面に特殊表面処理の冷却反射プレートを採用 優れたプロセス再現性と、急速冷却が可能 ○処理基板:φ300mm ○最高使用温度:1000±10℃ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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急速加熱、高精度温度分布を実現した ランプアールユニット 【特徴】 ○サークル形状の高出力赤外線ランプヒーターを用いて 基板の上下から加熱することで、急速加熱・高精度温度分布を実現 ○チャンバー内面に特殊表面処理の冷却反射プレートを採用 優れたプロセス再現性と、急速冷却が可能 ○処理基板:φ300mm ○最高使用温度:1000±10℃ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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精密加工・組立の分野で新たなステージによる展開を実現する、新組織・株式会社メープルの社名は、従来より引き継ぐ「組織は人」の基本ポリシーと、「人が考え人が創る」というコンセプトを具現化したものです。 Make People(メーク・ピープル)。「人が創る」と共に「人を創る」。社名に込められたこの姿勢こそが、私たちの今後ともに目指す組織と業務のあり方を象徴しています。