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最終更新日:2010年10月01日

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GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置のご紹介

GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適

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GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

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基本情報

【特長】 ●GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適 ●洗浄可能な治具は、SiCコートカーボン、石英等 ●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能 ●高価で時間のかかるウエット洗浄や大量の予備部品が不要 ●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能 ●作業者に負担のかからない安全設計 ※詳細は【資料請求】まで

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 精密加工・組立の分野で新たなステージによる展開を実現する、新組織・株式会社メープルの社名は、従来より引き継ぐ「組織は人」の基本ポリシーと、「人が考え人が創る」というコンセプトを具現化したものです。  Make People(メーク・ピープル)。「人が創る」と共に「人を創る」。社名に込められたこの姿勢こそが、私たちの今後ともに目指す組織と業務のあり方を象徴しています。

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