マイクロ波プラズマ実験装置 MiPC-500
アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する アリオス社だからこそできる、柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。 【特徴】 ○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射 その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等 多種に渡り製作が可能 ○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため 様々なプロセスに対応可能 ○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要 ○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター さらに超高真空まで対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する アリオス社だからこそできる、柔軟設計。 お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。 【特徴】 ○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射 その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等 多種に渡り製作が可能 ○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため 様々なプロセスに対応可能 ○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要 ○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター さらに超高真空まで対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格情報
-
納期
~ 1週間
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企業情報
1972年、初代社長堀田が自宅の玄関先を作業場に 大誠産業株式会社を設立して以来、技術開発、 研究開発の仕事に打ち込んでまいりました。 当初は、気象研究所のポラックカウンタなどの開発に携わり、 空気を科学する仕事から始まりました。 その後、リークデテクタのメンテナンスサービスを 始めるなどして、次第に真空の世界に仕事を広げて行きました。 創立10年頃から超高真空の仕事が増え始め、 創立15年頃には小型の装置を製造できるようになりました。 現在、仕事の守備範囲は格段に増え、超高真空、 MBE、CVD、ECR、RFラジカル源など単に真空装置に止まらず、 各種のプラズマ、イオンあるいは電子を利用した 機能部品の開発を進めております。 今後、真に先端技術の世界で通用する 小企業を目標にしたいと考えております。
