真空装置に濃度90%以上のオゾンを導入するための装置です。
純オゾンは、液体窒素で固化させたオゾンをヒーターで気化させることにより捕集しています。
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基本情報
【特徴】 ○90%以上の超高濃度オゾンを生成できます。 ○圧力計の信号によりヒーターを制御し、常時一定圧力で純オゾンを供給します。 ○ヘリウム冷却器を使わない構成で、ローコストです。 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途/実績例
酸化膜形成 真空装置への導入(オゾンビーム)
企業情報
21世紀の科学技術を担う私たちにとって循環型産業構造の構築は最重要課題です。 当社はこの課題に向けての新技術開発の支援をモットーといたします。 特にそのためのキーテクノロジーと目されるオゾン利用技術の技術的基盤を高めるため、低価格且つ高性能のオゾン発生装置をオゾン利用の現場へ供給致します。また、オゾン利用技術情報を蓄積し、情報面における普及、開発支援もいたします。