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[SIMS]二次イオン質量分析法

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最終更新日:2026年04月02日

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です

イオンを試料表面に入射させると、試料表面からは電子・中性粒子・イオンなど様々な粒子が放出されます。SIMSは、これらの粒子のうちイオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。 ・高感度(ppb~ppm) ・HからUまでの全元素の分析が可能 ・検出濃度範囲が広い(主成分元素から極微量不純物まで) ・標準試料を用いて定量分析が可能 ・深さ方向分析が可能 ・数~数十nmの深さ方向分解能での評価が可能 ・数μm角までの微小領域の測定が可能 ・同位体分析が可能 ・破壊分析

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A0014.jpg

[SIMS]二次イオン質量分析法

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  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/mst/product/

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基本情報

酸素やセシウムなどのイオン(一次イオン)を試料表面に照射すると試料表面近傍の原子は攪拌され、一部が真空中に飛び出してきます(スパッタリング)。 飛び出してきた粒子のうちイオン(二次イオン)を質量分析することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行います。

価格情報

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用途/実績例

・構成元素の評価 ・汚染や不純物の評価 ・深さ方向への元素分布評価 ・元素の二次元分布・三次元分布評価 ・各種金属材料・無機材料・炭素材料・有機材料の評価

詳細情報

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    まずはご相談ください ★分析プランのご提案から行います★ 御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。 分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。 まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

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    訪問セミナー実施します ★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★ お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。 ◆セミナー内容例 ・MSTの分析手法を広く解説 ・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説 ・お客様がご依頼の分析データを解説 03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

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MSTは、高度な受託分析サービスを提供する財団法人です。 最先端の「物理的解析」と、AI技術を活用した「高度なデータ解析」を融合させることで、従来の分析の枠を超えた多角的な視点を提供し、お客様の高度なニーズに迅速かつ的確にお応えします。 技術知識を兼ね備えた専門スタッフが、お客様の課題に寄り添い、最適な分析プランをオーダーメイドでご提案いたします。オンラインでの打ち合わせはもちろん、貴社への訪問による対面でのご相談も承っております。 また、ISO9001(品質)およびISO27001(情報セキュリティ)を取得しており、機密性の高いプロジェクトにおいても、確かな技術力と厳格な管理体制のもと、安心してお任せいただける環境を整えています。製品開発の加速から不良原因の究明、特許調査まで、研究開発のあらゆるフェーズにおける課題を、確かな分析技術で解決へと導きます。

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