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白色干渉計測法

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最終更新日:2025年03月12日

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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非接触・非破壊で3次元測定可能

白色干渉計測法は、高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触(非破壊)三次元測定が可能な装置です。 ・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置 ・非接触・非破壊で三次元測定が可能 ・広い視野(50μm×70μm ~ 5mm× 7mm) ・高垂直分解能(0.1nm) ・広いダイナミックレンジ(<150μm)

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A0020.jpg

白色干渉計測法

A0020.jpg
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基本情報

走査型白色干渉計は高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触(非破壊)3次元測定可能な手法です。

価格情報

-

納期

詳細はお問い合わせください

用途/実績例

・半導体など  ウエハなどの研磨面・蒸着膜表面の粗さ  欠陥・異常部の観察  加工形状観察(パターン・ホール・トレンチ・ベベル・MEMS) ・金属  ボールベアリング・ボンディング(ハンダ)表面形状  ギア・カッター・鋼板のキズ・破断面・金型の形状  めっき表面の粗さ・摩擦面の観察 ・その他の素材  切断面の観察  ガラス・光学部品・電気部品の形状観察

詳細情報

  • 打ち合わせ.jpg

    まずはご相談ください ★分析プランのご提案から行います★ 御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。 分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。 まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

  • セミナー.jpg

    訪問セミナー実施します ★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★ お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。 ◆セミナー内容例 ・MSTの分析手法を広く解説 ・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説 ・お客様がご依頼の分析データを解説 03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

企業情報

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

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MSTは受託分析サービスをご提供する財団法人です。 TEM・SIMS・XRDなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 知識豊富な営業担当が、適切な分析プランをご提案。貴社に伺ってのご相談も、もちろん可能です。 ISO9001・ISO27001取得。 製品開発・不良原因の解明・特許調査はぜひご相談ください! MSTは、あなたの「困った!」を解決へと導きます。

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