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当社では、環境面へ配慮した洗浄方法として『ドライ方式洗浄』を採用しております。 大量の廃液を発生させるウェット洗浄への依存を低減させ、品質・納期・コスト・安全面の向上を図っております。ドライ方式の場合、洗浄によるパーツ消耗は殆ど起きません。
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基本情報
【洗浄対象プロセス】 ○ＣＶＤ ○スパッタリング ○イオンミリング ○ドライエッチング（半導体・液晶） ○エピ 【洗浄事例】 ○膜種にもよりますが、ＣＶＤ等の成膜プロセスで使用されるセラミックス・金属パーツの表面付着膜を除去することが可能です。母材に極力ダメージを与えない洗浄方法を採用しておりますので、初期表面を維持したい場合に有効です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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企業情報
最先端の半導体・液晶・光学分野を支える石英ガラス。 当社は石英ガラス加工において独自の技術のノウハウを駆使し大型加工製品から微細加工製品まであらゆるニーズに対応しております。また、セラミックやシリコン金属の洗浄も行っております。テクノクオーツは高品質の石英ガラス製品を通じ、さらなる最先端技術の発展に貢献してまいります。