電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。
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基本情報
【特徴】 ○3つのアクチュエータを同一平面上に配置することにより超薄型シンプル構造を実現。 ○「予圧型ダブルスライド」が荷重を受け、アクチュエータは直接荷重を受けません。これにより荷重変化に影響されない安定した精度が得られます。 ○テーブル中心はもとより、任意の座標点を中心にテーブルを旋回させることができます。 ○別売のアライメントステージ専用コントローラにより、複雑な計算や、煩わしいソフト開発が不要になりました。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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企業情報
ヒーハイスト株式会社は、価値を創造する個性ある集団として、創業以来約半世紀に亘る固有技術と独自性を生かして“価値の創造”に努め、新しい時代の要求にお応えしてまいります。
