当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します
ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答 ○ダイアフラムバルブ構造を採用 （デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造） ○バイパスレス構造 （液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由） ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
○リンテック独自の周囲温度補償方式の 流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答 ○ダイアフラムバルブ構造を採用 （デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造） ○バイパスレス構造 （液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由） ○RoHS対応
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。
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企業情報
リンテックは1987年の設立以来、定温度差制御流量センサ、DLI液体気化供給システム、強酸用流量センサなどの流体計測制御に関わる独自技術を開発、製品化してきました。 これらの製品は半導体製造のみならず、自動車、医療などあらゆる産業に利用されています。
