真空ビューポート(ガラス窓)
真空用ビューポートです。真空チェンバー内部までガラス窓を直接導入することができます。窓は板ガラスを使用していますので歪が少なく抑えられます。有効視野はICF114を使用した場合、約φ52です。窓材質：コバールガラス
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基本情報
真空用ビューポートです。真空チェンバー内部までガラス窓を直接導入することができます。窓は板ガラスを使用していますので歪が少なく抑えられます。有効視野はICF114を使用した場合、約φ52です。窓材質：コバールガラス
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
比較的大型の真空チェンバー内部の状況確認など
カタログ（1）
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企業情報
次世代技術において薄膜作製の必要性はますます増えてまいります。薄膜作製においては低温下で、かつ緻密な、またそうであって生産性も高い、そんな技術が求められています。弊社は従来の対向ターゲット式スパッタ方式ではなしえなかったアーク放電対策を可能にし、上記の条件を満たすユニフォームプラズマスパッタ装置を製作販売しております。