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エキシマレーザー微細加工装置

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最終更新日:2010年10月01日

ビーム株式会社
ビーム株式会社
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卓上に設置できるコンパクトなエキシマレーザー微細加工装置です。

紫外波長であるエキシマレーザーを光源とすることにより、優れた加工品質を得ることができます。 高分子樹脂・薄膜、金属薄膜、ガラス材料などの加工に有効です。

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エキシマレーザー微細加工装置

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基本情報

小型エキシマレーザーを搭載した「ProMaster」は卓上に設置できるコンパクトな微細加工システムです。 縮小投影倍率は10倍に固定され、PC上から32種類のマスクモチーフを設定、リアルタイムで加工をモニター上で観察できます。 CADのDXFファイルやテキスト座標ファイルから容易に加工プログラムを作成できるため、プログラム実行中は他の作業を行うことができます。 少ない設置面積で高品位な加工を手早く行うには最適な装置です。 ●小型エキシマレーザーを搭載  波長193nm、最大出力3W , 300Hz  波長248nm、最大出力5W , 300Hz ●省スペース加工光学系  縮小倍率10倍固定ながら非常にコンパクトな設計です。  Z軸調整機構やマスクセレクターも搭載されています。 ●リアルタイムモニター画面  同軸上CCDモニター(約300倍) ●同軸投射照明  加工レンズと同軸の照明で加工面を確実に照らします。 ●多機能な制御ソフトウエア  ・加工部モニター画面  ・加工寸法簡易測定  ・プログラミング加工対応など。 ※詳細は資料請求からお問い合わせください。

価格情報

-

納期

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用途/実績例

カテーテル微細加工、マイクロ流路加工、薄膜除去加工、微小穴あけ加工など

企業情報

ビーム株式会社

ビーム株式会社

試験・分析・測定

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当社は、<世界唯一><世界第一位>の、またはその可能性を有する、 技術および製品を日本のお客様に紹介することによって、日本企業の 技術革新を支え、社会的貢献を果たしたいと思います。 営業活動の主軸を「レーザー微細加工装置」関連品目に置き、 IRからUVまでのレーザーを用いた加工装置をラインアップし レーザー微細加工のOne-Stop solutionとなることを目指します。

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