無塵雰囲気内で乾燥、エージング、アニーリングを行うための恒温装置。
◆用途に応じて コンベア式トンネル型・ターンテーブル用・安全増・準防爆型・Ｎ2置換型・自動給排気方式等 用途別専用製品もございます。
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基本情報
●無塵雰囲気内で乾燥、エージング、アニーリングを行うための恒温装置です。 ●本装置は、槽内清浄度 ＩＳＯ／ＪＩＳ クラス５（FEDｓｔｄクラス100／M3.5）以下、設定温度を高精度で維持します。 ● 発塵を防止した設計 ● クリーンルームを熟知した対負荷設計 ● 高精度温度制御 ● 柔軟な顧客対応設計
価格情報
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納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
・半導体、電子部品のエージング・アニーリング・スクリー ニング ・部品、器具の洗浄後のクリーン乾燥工程 ・記録メディア・コーティング後のクリーン乾燥工程
企業情報
登録商標である『サーマルクリーン』技術を特長として精密温湿度制御を伴うクリーンエア空間を作る装置を製造する。クリーンルームの施工も日本では先駆けの１社である。冷熱空調機器の製作から工事まで一貫して行う。東証1部上場の株式会社チノーの100%子会社である。