メンテナンスが容易で、コストを抑えたクリーン空間創りを容易に実現するミニエンバイロメント対応局所クリーン化機器！！
◆装置・ブースに組込み 清浄度確保 海外をはじめ多数の実績があります。 ◆
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基本情報
●従来品より小型化・軽量化を実現 ●プレフィルタ・HEPAフィルタを標準装備（ULPA他 各種フィルタにも対応可能） ●全閉型ターボファンを採用、耐久性、信頼性抜群（サーマルプロテクタ内蔵で、保安、風の逆流なし） ●フィルタ直付タイプなのでメンテナンスが容易 ●アルミ製・ステンレス製・鋼板製の3種類をラインアップ（フィルタ、電源等各種仕様に対応）
価格情報
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納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
・露光機、エッチング装置 ・装置後工程の清浄度確保またはクーリング（冷却） ・簡易型ブースに取付 ・精密加工、洗浄工程 ・バイオ、ゲノム実験空間 ・ライン上の局所クリーン化
企業情報
登録商標である『サーマルクリーン』技術を特長として精密温湿度制御を伴うクリーンエア空間を作る装置を製造する。クリーンルームの施工も日本では先駆けの１社である。冷熱空調機器の製作から工事まで一貫して行う。東証1部上場の株式会社チノーの100%子会社である。