製造・加工機械の製品一覧

  • 分類:製造・加工機械

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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微細加工などに好適!従来の工具では困難とされた穴のバリ取りと両面取りをワンパスで実現!

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  • その他工作機械

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【2021年10月20日(水)~23日(土)】メカトロテックジャパン2021に出展します!

当社は、2021年10月20日(水)~23日(土)の4日間、ポートメッセなごやで 開催される「メカトロテックジャパン2021」に出展いたします。 小径0.8mmからの面取りバリ取りが可能な工具『バーオフツール』や 折損を確実に検出する工具折損検出装置『FEM』をご紹介いたします。 皆様のご来場お待ちしております。(コマ番号:2B12​)

量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)

  • CVD装置

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IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4~8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能

  • その他半導体製造装置

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縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)

  • その他半導体製造装置

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実績のある加工技術と短納期対応でお客様の優れた製品開発をサポートします。

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  • 加工受託

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量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)

  • CVD装置

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FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代のガラス基板成膜装置

  • CVD装置

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機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備!RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用

  • その他半導体製造装置

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カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能

  • その他半導体製造装置

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高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適!

  • その他半導体製造装置

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露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能!

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  • ステッパー

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徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取り扱い中の機械的衝撃による損傷のリスクを最小限に抑えます

  • レチクルポッド 21320-00-loaded-.jpg
  • レチクルポッド 21320-00-side.jpg
  • レチクルポッド シングル.jpg
  • フォトマスク

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交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH修理対応致します。

  • rc350s-j01.png
  • rcm9205.png
  • rc350d-b23.png
  • その他半導体製造装置

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結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置

  • CVD装置

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試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置

  • CVD装置

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少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)

  • CVD装置

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