プロセス制御機器の製品一覧
- 分類:プロセス制御機器
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!
- その他搬送機械
微細加工などに好適!従来の工具では困難とされた穴のバリ取りと両面取りをワンパスで実現!
- その他工作機械
【2021年10月20日(水)~23日(土)】メカトロテックジャパン2021に出展します!
当社は、2021年10月20日(水)~23日(土)の4日間、ポートメッセなごやで 開催される「メカトロテックジャパン2021」に出展いたします。 小径0.8mmからの面取りバリ取りが可能な工具『バーオフツール』や 折損を確実に検出する工具折損検出装置『FEM』をご紹介いたします。 皆様のご来場お待ちしております。(コマ番号:2B12)
モーノポンプなどをお使いの設備を遠隔監視・記録・操作! 『シーツーコネクト』で業務改善と安定稼働を実現
- 遠隔制御
- その他セキュリティ・監視システム
半導体製造向けFOUPガスパージ制御に最適!センシリオンの高精度マスフローコントローラー 「SFC6000D」
センシリオンの「SFC6000D」は、FOUP(Front Opening Unified Pod)用途に最適なマスフローコントローラーです。 半導体製造では、極めて高いアスペクト比を持つ3次元構造が求められ、精密なガスパージ制御が不可欠です。SFC6000Dは、正確で安定したガス流量制御を実現し、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。 ■主な特長 ・高精度・高速応答:保護用不活性ガスの流量を正確に制御 ・優れた再現性と長期安定性 ・マイコン不要:校正済みデジタルセンサーがバルブを直接制御 ・通信インターフェース:RS485、Modbus RTU、I2C、アナログ電圧対応 ・最大10 barの耐圧設計:5/20/50 slmモデルに対応 ・湿度耐性:非凝縮湿度環境でも安定動作 ■対象 ・半導体製造装置メーカー ・ウェーハ搬送装置メーカー ・クリーンルーム関連機器メーカー 詳細はお問い合わせ、または、資料ダウンロードをご利用ください。
半導体製造向けFOUPガスパージ制御に最適!センシリオンの高精度マスフローコントローラー 「SFC6000D」
センシリオンの「SFC6000D」は、FOUP(Front Opening Unified Pod)用途に最適なマスフローコントローラーです。 半導体製造では、極めて高いアスペクト比を持つ3次元構造が求められ、精密なガスパージ制御が不可欠です。SFC6000Dは、正確で安定したガス流量制御を実現し、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。 ■主な特長 ・高精度・高速応答:保護用不活性ガスの流量を正確に制御 ・優れた再現性と長期安定性 ・マイコン不要:校正済みデジタルセンサーがバルブを直接制御 ・通信インターフェース:RS485、Modbus RTU、I2C、アナログ電圧対応 ・最大10 barの耐圧設計:5/20/50 slmモデルに対応 ・湿度耐性:非凝縮湿度環境でも安定動作 ■対象 ・半導体製造装置メーカー ・ウェーハ搬送装置メーカー ・クリーンルーム関連機器メーカー 詳細はお問い合わせ、または、資料ダウンロードをご利用ください。
半導体製造向けFOUPガスパージ制御に最適!センシリオンの高精度マスフローコントローラー 「SFC6000D」
センシリオンの「SFC6000D」は、FOUP(Front Opening Unified Pod)用途に最適なマスフローコントローラーです。 半導体製造では、極めて高いアスペクト比を持つ3次元構造が求められ、精密なガスパージ制御が不可欠です。SFC6000Dは、正確で安定したガス流量制御を実現し、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。 ■主な特長 ・高精度・高速応答:保護用不活性ガスの流量を正確に制御 ・優れた再現性と長期安定性 ・マイコン不要:校正済みデジタルセンサーがバルブを直接制御 ・通信インターフェース:RS485、Modbus RTU、I2C、アナログ電圧対応 ・最大10 barの耐圧設計:5/20/50 slmモデルに対応 ・湿度耐性:非凝縮湿度環境でも安定動作 ■対象 ・半導体製造装置メーカー ・ウェーハ搬送装置メーカー ・クリーンルーム関連機器メーカー 詳細はお問い合わせ、または、資料ダウンロードをご利用ください。
持続可能な未来を支えるブルックスインスツルメントのソリューション
エネルギー革新における精密制御の実現 水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える 現場には、正確な流れを見守る技術があります。 ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 https://mono.ipros.com/product/detail/2001538519/