配管部品の製品一覧
- 分類:配管部品
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「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20%縮小化を実現!半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能!
- バルブ
「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現!基本性能は「KDシリーズ」を全て受け継いだハイスペックバルブ
- バルブ
バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化!極めて良好なガス置換特性のダイヤフラムバルブです。リフト部(ASSY)は交換可能
- バルブ
配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性!特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能
- バルブ
バルブボックス自体の省スペース化が可能! コンパクトなボディ部のデッドスペースを究極にまで少なくした複合バルブです。
- バルブ
駆動部品数の最小化、単純化を実現!半導体用高純度ガスに対応し、パーティクル性能を極限まで追求したダイヤフラムバルブ
- バルブ
熟練度を必要としない簡単施工(ボルト2本で締付完了)!優れたシール構造による耐圧性能の確保
- 管継手
- ジョイント・継手
- バルブ・継手