真空機器の製品一覧

設計から製造、メンテナンスまで一貫対応いたします！

• 製造受託

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

「亀裂」「規格外製品の製造」「高硬度・低硬度ゴムの製造」でお困りの方へ！

• ゴム
• シール・密封

真空配管を素材から切削加工、TIG溶接組付け一貫製作いたします。

• 配管材
• 真空機器

フッ素系Ｏリング　３種類！

• シール・密封

継ぎ目のないＰＦＡ被覆Ｏリング！

• シール・密封
• エンジニアリングプラスチック

米国　SCI製ロータリーマグネトロンカソードは、世界に約3000台の納入実績が御座います。

• 真空機器
• 有機EL
• 液晶ディスプレイ

スパッタリング装置に搭載する高品質な円筒ターゲット、平面ターゲット並びに蒸着材料をリーズナブルな価格でご提供致します。

• 真空機器
• タッチパネル
• 有機EL

吸着パッドの「革命児」。ワークを取った角度、位置を固定して“そのまま搬送”。吸着搬送の概念を変えてみせます！

• 油圧機器
• その他機械要素
• 真空機器

メカニカルブースターポンプ

• その他ポンプ
• 真空ポンプ

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプです。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプです。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプです。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

運動導入期シリーズ・超高真空マニピュレーターを多数掲載！

• カップリング
• 真空成形機
• 真空機器

車の真空引きに！電動工具で4.05torrの真空到達度！

• 真空ポンプ

低騒音！完全無漏洩！小型で軽量、かつ優れた耐久性と耐熱性と耐食性（温水の場合95℃）をもつマグネットポンプ

• その他ポンプ
• 真空ポンプ

エジェクタは、気体（水蒸気等）や、液体（水等）を駆動源とする真空ポンプです。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプです。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。

• その他ポンプ
• 真空ポンプ
• 真空機器

大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ

• その他ポンプ
• 真空ポンプ
• 真空機器

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しています。

• その他ポンプ
• 真空ポンプ
• 真空機器

『日本機械工業連合会会長賞 受賞！』インバータ制御・台数制御で省エネ！オイルフリー真空ポンプ

• 真空ポンプ
• 真空機器
• 樹脂加工機

真空ポンプのインバータ＆台数制御で省エネ最大84%【国内外に納入事例多数】

• 真空ポンプ
• 真空機器
• 真空成形機

確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。

• 真空機器
• その他半導体製造装置
• 加工受託

強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

マルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

室内の設備・雰囲気を油滴や油煙で汚すことなく清浄な作業環境が得られます。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】

• その他ポンプ
• 真空ポンプ

お手持ちのドライポンプの消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。※使用の可否はお問い合わせ下さい。【アルバック／ULVAC】

• 真空ポンプ

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

• 真空機器
• コーター