半導体製造装置の製品一覧

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• オシロスコープ

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー！異物混入リスクを低減しました

• フィーダー

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

• コーター

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です！

• レジスト装置

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状（円形、扇等）、圧力、流量などを自由に選択できます。

• レジスト装置

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像装置。厚膜などの現像時間を短くするのに有効です。

• レジスト装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです

• レジスト装置

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です！

• コーター

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

• コーター

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォトリソ工程装置の総合メーカーだから実現可能な特殊装置です。

• コーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し、ソーティングします。

• その他半導体製造装置

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフトオフ装置です。

• レジスト装置

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！

• レジスト装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウンタイムが少なく、生産性が高いリフトオフ装置を実現！

• レジスト装置

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、完全非接触ギャップ管理、オートアライメント機能搭載です。

• その他半導体製造装置

銅の表面処理を施し、様々な機能を付与することで各種レジスト材料との密着性が向上します

• エッチング装置

定盤固定式のためライン化に好適！サンダー2台分の仕事を1台でこなします

• その他加工機械
• ウエハ加工/研磨装置
• その他切削工具