半導体製造装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置
• 高圧洗浄機

ロールを取り外さずに表面研磨可能！ロール表面を好適な状態に保ちます

• ウエハ加工/研磨装置

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのクリーン乾燥を実現！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置
• 高圧洗浄機

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄装置！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置
• 高圧洗浄機

1インチUHV対応スパッタカソード2源！ロードロック室は増設することが可能です！

• スパッタリング装置

メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用！

• 蒸着装置

グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を交換・補充可能です！

• 蒸着装置

酸素や水分を排除したい研究製膜環境！多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応します！

• スパッタリング装置

基板寸法は最大3インチで3枚収納可能！加熱機構・逆スパッタ機構を備えています！

• スパッタリング装置

基板入射に対応する円弧型レール上に任意位置で固定可能！蒸着ポジションを調整できます

• 蒸着装置

基板回転・基板加熱対応のホルダーを搭載！大気解放することなく連続成膜可能！

• 蒸着装置

トランスファーロッドにより、各室間を搬送！大気解放することなく連続成膜可能！

• 蒸着装置
• スパッタリング装置

単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ！

• スパッタリング装置
• その他機械要素

EB源増設ポート付！4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備えています！

• 蒸着装置

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹介します！

• プラズマ表面処理装置
• スパッタリング装置
• 分析機器・装置