半導体製造装置の製品一覧

【アールエスコンポーネンツ】計測器、工具、受動部品など豊富な産業用製品のご購入は今がチャンス！※セール対象品カタログを無料進呈中

• オシロスコープ

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー！異物混入リスクを低減しました

• フィーダー

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ、構造材。窒化物の単結晶成長からウェハプロセスまで対応。

• CVD装置

高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミックス！半導体製造など幅広い業界で活躍

• その他半導体製造装置

高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-220AII　スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！

• その他半導体製造装置

高性能・低価格！6インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-300AII　スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！

• その他半導体製造装置

スリット塗布後に真空貼り合せまでを一連で行う装置

• その他組立機械
• ボンディング装置

平面だけでなく曲面にも対応したスリットコーター

• コーター

気泡の原因を元から除去！既存プロセスに後付けするだけで溶存酸素を10ppbレベルまでコントロール！

• その他半導体製造装置
• 水処理装置
• 脱気装置

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

• その他半導体製造装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

板形状への精密研磨加工と成膜はぜひ当社へご相談ください！

• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、パーティクル低減、装置稼働時間が大幅アップし、生産性向上！

• エッチング装置
• 加工受託
• 表面処理受託サービス

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性に優れる！独自のイオンアシスト蒸着法による酸化イットリウム

• 表面処理受託サービス
• エッチング装置
• 加工受託

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が大幅アップ！ドライエッチング装置部品の保護膜・再生に最適！

• 表面処理受託サービス
• 加工受託
• エッチング装置

高精度研磨を実現！多段階ステップを有し、複雑な研磨レシピに対応可能

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

据え置き型で高剛性ボディー！超精密な精度を維持し安定した加工が可能

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械