半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

  • 電池・バッテリー
  • 技術書・参考書
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静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

  • small-mistcollector.png
  • 空調

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当社VBPCの最も得意とする分野です。

  • 半導体検査/試験装置

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ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム ACCUBATH

  • エッチング装置

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xe_bath_main.jpg

ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える!!

ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板(PSS)について 現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。

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トヤマ社〜各種実験装置・機器類〜総合カタログ 無料配布中!

  • その他半導体製造装置
  • その他計測・記録・測定器

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小型、PC接続可能、マニュアルプローブ付カーブトレーサー

  • その他半導体製造装置
  • 画像処理機器
  • 電圧計

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遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮

  • 加熱装置
  • アニール炉

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RFプラズマ源 ERFS-500

  • その他半導体製造装置

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マイクロ波イオン・ラジカル源 IMIS-211Q

  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置

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遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉

  • 加熱装置
  • アニール炉

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真空容器事例「小型実験用チャンバー」

  • 半導体検査/試験装置

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シンプルデザインの手動スピン洗浄装置

  • その他半導体製造装置

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