半導体製造装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

高タクト動作に最適の電動アクチュエータ

• 半導体検査/試験装置
• アクチュエーター
• その他FA機器

ボールリテーナ入りボールねじSBN形に軸径16〜32mm登場

• 組立機械
• その他半導体製造装置
• 動力伝達機器

大気圧〜真空の環境下で安定した転がり抵抗を実現

• 半導体検査/試験装置
• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

油を使えない真空環境下での仕様に最適

• 酸化/拡散装置
• イオン注入装置
• その他クリーンルーム用機器・設備

キャリア＆キャリア収納BOX洗浄装置

• その他半導体製造装置

有機系自動洗浄装置

• その他半導体製造装置

全自動キャリアレスウエハー洗浄装置

• その他半導体製造装置

チップソーター　

• 自動選別機
• ボンディング装置

デスクトップ高精度搭載機

• 組立機械
• ボンディング装置

マニピュレータシステム

• ボンディング装置
• 光学顕微鏡
• その他

チップ検査装置

• 半導体検査/試験装置
• 画像処理機器

LDバー移載装置

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベロッパー、エッチャー共に製作可能

• レジスト装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

ACサーボを採用し常に安定した回転精度のスピンナー(スピンコーター）

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー

• レジスト装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置