半導体製造装置の製品一覧

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

その他安全・衛生用品

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架台とは？知っておきたい基礎知識

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株式会社山下製作所

様々な架台に関するその用途や構造、事例などを紹介した小冊子を無料でダウンロード頂けます。

その他工作機械
太陽光発電機
その他エネルギー機器

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スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

コーター
その他半導体製造装置

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【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター

省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方式

コーター
その他半導体製造装置

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枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

コーター
その他半導体製造装置

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処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

ウエハ加工/研磨装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハ洗浄装置』

3軸多関節クリーンロボットと単軸ロボットの組み合わせで構成！

その他半導体製造装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

レジスト装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

レジスト装置

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枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です。

その他半導体製造装置

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MH-1000　マルチワイヤーソー

●高性能電着ダイヤモンドワイヤーによるダウンカット方式 ●固定砥粒のためスラリーが不要

その他半導体製造装置
その他加工機械

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【オーダーメイド製作実績】ドライエッチング装置

「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています

エッチング装置

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ロードロック式スパッタリング装置

CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です！

スパッタリング装置

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立体物用スパッタリング装置

立体物成膜での高いカバレッジを実現！最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です！

スパッタリング装置

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【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります

相談だけでも歓迎！設計から製作、組立まで自社で一貫して対応！各種装置製造でお困りの方は是非ご相談ください。※製作事例資料進呈中

スパッタリング装置

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部品『ブレードホルダー』

株式会社吉岡精工

ダイシングソー用フランジ「ブレードホルダー」

ウエハ加工/研磨装置
ダイヤモンドカッター
カッター

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チャック『セミオーダーポーラスチャック』

株式会社吉岡精工