半導体製造装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

電池・バッテリー
技術書・参考書
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オイルミストコレクター『ミストール』＜デモ受付中＞

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東洋空気調和株式会社

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

空調

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RTA装置

トレイ搬送にも対応可能！優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現

アニール炉
加熱装置

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ドライエッチング装置

RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコンタミ低減

エッチング装置

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ロードロック式EB蒸着装置

好適な表面処理によるパーティクル低減！ロードロック式による高真空プロセスに対応

蒸着装置

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【オーダーメイド製作実績】蒸着装置

「2段階複合Pt成膜装置」などの実績を保有！ご用命の際はお問い合わせください

蒸着装置

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有機EL用蒸着装置

プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます！

蒸着装置

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加圧RTA装置

基板加熱温度最高1000℃！基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減！

加熱装置
アニール炉

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アッシング装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です！

エッチング装置
アッシング装置

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スピンドライヤー（乾燥機）

【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン乾燥に最適！

その他クリーンルーム用機器・設備
その他半導体製造装置

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ウエハー自動洗浄装置　300mmウエハ自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式洗浄装置です

その他半導体製造装置

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ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です

その他半導体製造装置

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エッチング装置　スプレー式ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です

エッチング装置

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エッチング装置　ウエハ洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

エッチング装置

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エッチング装置　急速エッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

エッチング装置

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エッチング装置　半自動ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います

エッチング装置

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スピンドライヤー　SPD型