半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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100万回繰り返しても壊れない!確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。
- センサ
移動距離数十ミリ程度の位置決めに適したボイスコイル型リニアモータ(VCM)を高速移動と超精密位置決め用に開発しました。
- 電子ビーム描画装置
- サーボ
- トルク制御