半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

スリットバルブシール

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

固着対策シール

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• 空圧機器

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマーです。当社はカルレッツの日本の正規代理店です。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• エッチング装置

長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜220℃）での使用にも耐えます。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• 真空機器

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• シール・密封

室温かつ大気圧で薄膜形成！安価な膜原料を使用！即納キャンペーン開催中

• その他加工機械
• コーター
• その他

実験用小型スリットコーター ・基板サイズ：200mm ・粘度：数cps～10,000cps ・膜厚：0.5～100μm

• コーター

実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ：200mm□ ・レンタル期間：6ヶ月（MAX） ※薄膜から高粘度まで

• コーター

軽量・コンパクトな卓上タイプ

• コーター

実験可能サイズ：600×700mm（最大） ランプ照度：50～140mW 受託加工テスト可能 デモ機貸出可能

• コーター

高照度172nmエキシマランプ　管面照度150mW/cm²以上

• コーター

Ｇ２～Ｇ6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター

• コーター

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

• その他半導体製造装置

多彩なフィルム・ガラスに対応するラミネート装置

• その他半導体製造装置

機能性フィルム・有機ＥＬ用洗浄装置

• その他半導体製造装置

レンタル専用エキシマUV ・長期貸出可能　15日～1年間以上 ・月額分割払いが可能 ・装置の修理費用は発生致しません。

• コーター

短納期・小ロットでも対応可能です。 経験豊富な技術者による対応。

• コーター

塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度：数cp～10,000cp 基板サイズ：G8サイズ ※塗布実験可能

• コーター

装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター MaxG8基板サイズまで可能です。

• コーター

超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能

• コーター

インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上

• コーター

業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ　　　 基板：Max250mm□

• コーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上

• コーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上

• コーター

電磁スキャナー式（特許取得済み） ダメージレスで非破壊で測定可能 低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します

• 半導体検査/試験装置

10mm□～G8基板の受託が可能 小ロットの特注対応 多彩なニーズに対応

• コーター

各種ケミカル洗浄、超音波洗浄、フォトリソ装置の取扱

• その他半導体製造装置

自動精密ディップコーティング装置 約20台の実績

• コーター

スマートフォン用精密部品・半導体デバイス・有機EL・自動車部品向け洗浄装置

• その他半導体製造装置

短納期・小ロットでも対応可能。 経験豊富な技術者による対応。 50mm□シートから700mm幅原反まで対応。

• コーター

はかりの高さが低いため、既存の基礎の上にそのまま設置しても測定物の乗せ降ろしが簡単（基礎工事 不要） 19mm～

• その他プロセス制御
• その他半導体製造装置

耐荷重に優れた台はかりロードセル　　架台キャスター付きのため大型容器の計測に最適　

• 重量関連測定器
• はかり
• その他半導体製造装置

加工の一体化的な装置化！自動切断による生産効率を向上したレーザーシステム

• 基板加工機
• タッチパネル
• エッチング装置

高速加工による高効率！LD励起固体UVレーザー搭載のレーザーシステム

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置

TFE電子銃用の高圧電源装置です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

TFE電子銃、電子線リソグラフィ用の、高圧電源装置「FE503XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

開発期間の短縮にも役立つ、FIBイオン銃用の高圧電源装置「IB303XS」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

開発期間の短縮にも役立つ、FIBイオン銃用の高圧電源装置「IB303XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

サーマルFEエミッタを使用した軟Ｘ線管専用の駆動電源「XE303XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

TFE電子銃用の高精度な高圧電源装置です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

CD-SEM、レビューSEM用の高圧電源装置「FE103XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

世界で初めて最小画素1μm（オプション：0.5um対応可能）の自由度の高いパターニングを実現！DMDを用いたマスクレス露光装置

• 3Ｄプリンタ
• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置

鍍金の材料から設備までのトータル的なコーディネイトをメインに手がけています

• その他半導体製造装置
• その他クリーンルーム用機器・設備

本塗装前の下地仕上げ。シンプル構造で何でも研磨可能な木工塗装研磨機

• ウエハ加工/研磨装置

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

• その他半導体製造装置
• その他理化学機器
• 分析機器・装置