【ＣＺ法単結晶育成装置用】種付けから回転引上げ、インゴット完成まで重量制御が可能
単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。 回転しながら成長する単結晶の重量を正確に安定した電気出力に変換します。 チョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には独特の荷重センサを用いました。 ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。 【特長】 ◆ノイズに強い対策実施で低リップル 広帯域の電気的ノイズ防止を徹底的に追求した回路設計。低リップルの安定した性能を実現 ◆速い応答周波数 高速化したADCに対応した周波数特性(DC～1.2Hz(-3dB))が獲得可能 ◆低速回転から高速回転まで安定動作 低速回転から高速回転(300rpm)まで安定に動作、計測制御の応用範囲を広げる。納入品には回転試験検査データを添付 【用途例】 単結晶インゴット育成工程の結晶育成装置 ※詳細はお問い合わせかPDFをダウンロードしてください。
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基本情報
【その他詳細】 ◆不感帯もなく、微妙な制御 分解能は無限大。不感帯がなく、ごく微小な重量変化やシードタッチも逃さず検出。 ◆高性能と安定性の両立で全自動化 非直線性、ヒステリシス、繰り返し性、クリープなど諸特性の高性能化と安定性を両立。 結晶成長の初期育成から直径自動制御完了にいたるまでの全自動化が実現 ◆破損しにくい設計 ◆定格容量：3kg〜50kg ◆振動の影響を受けにくい剛性構造
価格情報
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納期
用途／実績例
単結晶インゴット育成工程の結晶育成装置
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企業情報
当社は昭和63年4月に設立、以来ひずみゲージ応用の各種センサー、計測機器の製造販売を主体とした精密計測機器専門メーカーとして、本日に至っております。 特に特殊センサーの分野では数多くの実績を有し、その技術と品質は高い評価を得ております。 今後も確かな技術と信頼できる品質をもって、社会の多様なニーズにお応えすべく、努力していく所存でございます。 センサー、電子部品、電子回路や各種応用機器の開発・設計・製作・販売ならびに輸出入を通じて、より緻密な計測・計量管理が求められる現代の産業界と社会生活に貢献しています。
