半導体製造装置の製品一覧

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サンプルプレゼント！260℃までＯＫ！500回以上繰り返して使える高耐久性！

そのほか消耗品

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作業環境の安全性向上に！オーダーメイド可能な断熱保温カバー

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株式会社日商

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最大1200℃まで耐熱。作業環境の安全を守る高性能な保温カバーを、オーダーメイドで製作いたします！

ガラス

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水研両用ガイド付グラインダー　福農産業

福農産業株式会社

安全・手軽にプロ並みの研ぎ！

ウエハ加工/研磨装置

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ヒューズテクノネット　ガスコントロールユニット集積タイプ

ガスコントロールユニット集積タイプで、ガス漏れを監視します

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ヒューズテクノネット　透明導電膜加湿ユニット

H2Ｏを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装置、アッシング装置、導電膜プロセスに安定供給します

その他半導体製造装置

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テスタ　恒湿恒温槽対応シーク＆ＣＳＳテスタ

株式会社テクアルファ

自社開発のVCMで高速シーク

テスタ

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フッ素樹脂　ＥＸＬＯＮ−ＰＦＡチューブ

株式会社イワセ

洗浄工程を短縮する、半導体業界向けフッ素樹脂チューブ！

その他半導体製造装置
食品搬送装置
チューブ

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真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで！！

その他半導体製造装置
その他機械要素

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装置製作事例

真空装置の設計・製造ならお任せください！

基板加工機
その他半導体製造装置

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真空容器制作事例「実験用チャンバー」

真空容器制作事例のご紹介

その他半導体製造装置

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真空装置設計・製作致します！

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。

半導体検査/試験装置

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表面処理装置　スパッタ用イオン銃　「40C1型」

株式会社テクノポート

表面処理装置　スパッタ用イオン銃

スパッタリング装置
電子ビーム描画装置

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表面処理装置　走査型イオン銃　「40E1型」

株式会社テクノポート

表面処理装置　走査型イオン銃

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ヒューズテクノネット　水素吸蔵機能材料評価装置

評価技術や熱流体解析など、ハードとソフト両面でお応えしています。

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ヒューズテクノネット　DLC成膜装置

可能性の中でテクノロジーは加速する。

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ヒューズテクノネット　燃料電池イオン膜評価機

Windowsパソコンでの操作がわかりやすい

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ミックスドシグナルテストシステム　SX-3000シリーズ

株式会社スパンドニクス

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バリ取りエッジ仕上げ加工　磁気研磨機　総合カタログ

株式会社プライオリティ

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小型現像装置　ED25

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二宮システム製　現像・エッチングライン・剥離ライン

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高精度処理タイプ　高精度エッチングライン

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高精度処理タイプ　マイクロエッチング装置

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高精度処理タイプ　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

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高精度処理タイプ　剥離・アルカリエッチングライン

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FPDウェットラインLCD/PDP用各種枚葉式ウェット処理装置

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二宮システム製　エッチダウン装置

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二宮システム製　ITOエッチング装置

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二宮システム製　超高圧精密洗浄装置

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二宮システム製　ガラス基板現像装置

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二宮システム製　ブラシ洗浄装置

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小型超高精度エッチングマシン　MPE40

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超小型現像試験装置　TSD10

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二宮システム製　超小型エッチング試験装置

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初心者用エッチング入門セット　ES-10SET

サンハヤト株式会社

収納ケース付エッチングセット

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卓上エッチング装置　ES-10/ES30

サンハヤト株式会社

エアー噴流で、簡単・効率的にエッチング

エッチング装置

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排ガス処理セット　ES-F1

サンハヤト株式会社

エッチング中に発生するガスや蒸気を除去

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換気・排気

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防振導電　ステンレス台車

株式会社クラフトワーク

静電や衝撃を嫌う精密機器などの搬送に１

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有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T

装置寸法：1700W×1300D×1400H

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枚葉自動スピン剥離装置

本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能

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G8対応　枚葉スピン式　大型マスク洗浄装置　MSC-1500

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

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枚葉スピン剥離装置 WSR-200CBT/WSR-300CBT

装置寸法：1200W×1100D×2000H　(200CBT)/1500W×1100D×2000H　(300CBT)

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枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

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枚葉自動スピン現像装置

装置寸法：2000W×1200D×2000H　(200WCBT)/2000W×1500D×2000H (300WCBT)

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枚葉スピン現像装置 WSD-200CBT/WSD-300CBT

装置寸法：1200W×1100D×2000H(200CBT)/1500W×1100D×2000H(300CBT)

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有機溶剤系スプレー現像装置 WSD-150

装置寸法：560W×850D×1300H

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IPA蒸気乾燥装置VD-200CBT　ＩＰＡベーパー

CO2ガスによる自動消火システムを装備

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水晶　高精度水晶

株式会社マキエレクトロ