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STF-3000シリーズ

最終更新日:2012年06月20日

株式会社ピー・ジェイ
株式会社ピー・ジェイ
  • 公式サイト

濾過膜はPTFE製2層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。

全数疑縮核式パーティクルカウンターによって0.003μmのパーティクル捕捉試験を実施しております。

    CVD装置半導体検査/試験装置ガスフィルタ
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高耐圧用PTFEガスフィルター

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基本情報

【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は40L/min、150L/min各種です。 ○ハウジング設計圧力は20.68MPa(3,000PSIG、210kgf/cm2)at20℃です。 ○最高使用圧力は0.98MPa(142PSIG)at20℃です。 ○最高使用温度は120℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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用途/実績例

半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など

企業情報

株式会社ピー・ジェイ

株式会社ピー・ジェイ

電子部品・半導体

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株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 1.(株)ピュアロンジャパン製品全て  ・セラミックガスフィルター  ・メタルガスフィルター  ・ハステロイガスフィルター  ・PTFEガスフィルター  ・ハイブリッドフィルター  ・ガス精製器  ・ヒーター  ・リキッドフィルター  ・圧力センサー  ・表示器  ・温度センサー  ・微差圧計  ・比抵抗率計  ・デジタルフローコントロールシステム 2.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品

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