半導体製造装置の製品一覧

設計から製造、メンテナンスまで一貫対応いたします！

• 製造受託

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• 分析機器・装置

300mmウェハケース

• 半導体検査/試験装置
• その他クリーンルーム用機器・設備
• ウエハ加工/研磨装置

ＬＣＤ基板高圧洗浄装置

• その他洗浄機
• その他加工機械
• その他半導体製造装置

0.2ｔ薄板ガラス洗浄装置

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

研究開発用エッチング装置　ＳＰＥ４０

• その他表面処理装置
• エッチング装置
• その他実験器具・容器

狭いスペースＯＫ、使い用途に合わせた設定変更可能、短納期を実現した『小型エッチングマシン』

• その他表面処理装置
• エッチング装置
• その他実験器具・容器

小型薄板用エッチング装置　ＦＢＥ４０

• その他表面処理装置
• エッチング装置
• その他実験器具・容器

小型超高精度エッチング装置　ＭＰＥ４０

• その他表面処理装置
• エッチング装置
• その他実験器具・容器

ＥＨ４３０Ｂ

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

HL-720　チューブ搭載IC３次元外観検査装置

• その他加工機械
• 半導体検査/試験装置
• 外観検査装置

マルチ媒体対応デバイス自動書込み装置

• その他産業用ロボット
• その他加工機械
• 半導体検査/試験装置

マルチノズル搭載高速デバイス自動書込み装置

• その他産業用ロボット
• その他加工機械
• 半導体検査/試験装置

一括64個書きに対応。開発用の1個書き、生産用には8個書きも可能！

• その他加工機械
• 半導体検査/試験装置
• その他電子部品

大気圧プラズマ装置

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置
• その他半導体

半導体用トランスデューサー

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

スクラブ洗浄装置

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

ＩＰＡベーパ乾燥装置

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

PLAD-221-Y PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-250E PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-250R PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-271PE PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-150Y PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-161 PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-261PG PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

エキシマレーザパルス蒸着システム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

パルスレーザパルス蒸着システム

• 油圧機器
• 蒸着装置
• 真空機器

シールドルーム

• その他半導体製造装置
• その他環境機器

オールソリッドステート式マイクロ波電源

• 樹脂加工機
• 乾燥機器
• その他半導体製造装置

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置
• 空圧機器

真空配管、粗引配管設計及び制作

• 油圧機器
• その他半導体製造装置
• 真空機器

ガス配管製作

• 油圧機器
• その他半導体製造装置
• 真空機器

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

• その他加工機械
• その他半導体製造装置
• 製造受託

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

• その他産業用ロボット
• その他半導体製造装置
• 空圧機器

業界初、新小型サーボプレス機。ストローク長とラムスピードは３〜６０ｍｍの範囲で任意に設定可能

• その他半導体製造装置
• サーボ
• プレス金型

超薄物材料のプレス・トムソン加工やハーフカット加工に最適

• その他半導体製造装置
• サーボ
• プレス金型

小型・軽量・低騒音で環境に優しく、応用範囲が無限に広がる新プレス機。

• 塑性加工機械(切断・圧延)
• その他半導体製造装置
• プレス金型

小型・軽量・低騒音で環境に優しく、応用範囲が無限にひろがる新プレス機。

• 塑性加工機械(切断・圧延)
• その他半導体製造装置
• プレス金型

小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

• エッチング装置
• アッシング装置

EFEM（Equipment Front End Module）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

ウエハ移載機（ウエハソーター）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

ウエハ移載機（ウエハソーター）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置