半導体製造装置の製品一覧

設計から製造、メンテナンスまで一貫対応いたします！

• 製造受託

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。

• 基板加工機
• エッチング装置

生活をよりシンプルに・快適にする製品をお届けします

• 半導体検査/試験装置

多軸変位計　集録モジュール

• マシニングセンタ
• その他半導体製造装置
• 距離関連測定器

本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。

• 半導体検査/試験装置

Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）との比較により直径を測定する装置です。

• 半導体検査/試験装置

真空状態やクリーンルームでも使用可能！設計の自由度が高い遠赤外線ヒーター

• その他半導体製造装置
• その他ヒータ

均質性と透明性が求められるレンズの基本的な性質から研磨工程まで解説

• レンズ
• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託

リアルタイムに情報をフィードバック！高い再現性＆回転誤差極小のスピンコーター

• コーター
• その他

ＴＩＧ溶接

• その他半導体製造装置

半導体製造に革新もたらすミニマルファブ！研究開発から生産まで担えるの半導体製造装置！

• その他半導体製造装置

省スペース化を実現！同時放電による合金膜や積層膜の形成に最適なスパタ装置

• スパッタリング装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに最適なコーティングシステムをご提供しております。

• コーター

ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃の開発資料！

• 電子ビーム描画装置
• その他電子部品

小ロット・量産・試作1個からの特殊バレル研磨に対応可能！

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置

『台湾・リープ社』製、世界の主要半導体メーカーから認定を受けたICプログラマーのメーカーです。

• 半導体検査/試験装置

スリットバルブシール

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

固着対策シール

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• 空圧機器

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマーです。当社はカルレッツの日本の正規代理店です。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• エッチング装置

長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜220℃）での使用にも耐えます。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• 真空機器

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• シール・密封

室温かつ大気圧で薄膜形成！安価な膜原料を使用！即納キャンペーン開催中

• その他加工機械
• コーター
• その他

軽量・コンパクトな卓上タイプ

• コーター

高照度172nmエキシマランプ　管面照度150mW/cm²以上

• コーター

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

• その他半導体製造装置

多彩なフィルム・ガラスに対応するラミネート装置

• その他半導体製造装置

機能性フィルム・有機ＥＬ用洗浄装置

• その他半導体製造装置

レンタル専用エキシマUV ・長期貸出可能　15日～1年間以上 ・月額分割払いが可能 ・装置の修理費用は発生致しません。

• コーター

短納期・小ロットでも対応可能です。 経験豊富な技術者による対応。

• コーター

装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター MaxG8基板サイズまで可能です。

• コーター

業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ　　　 基板：Max250mm□

• コーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上

• コーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上

• コーター

10mm□～G8基板の受託が可能 小ロットの特注対応 多彩なニーズに対応

• コーター

各種ケミカル洗浄、超音波洗浄、フォトリソ装置の取扱

• その他半導体製造装置

短納期・小ロットでも対応可能。 経験豊富な技術者による対応。 50mm□シートから700mm幅原反まで対応。

• コーター

はかりの高さが低いため、既存の基礎の上にそのまま設置しても測定物の乗せ降ろしが簡単（基礎工事 不要） 19mm～

• その他プロセス制御
• その他半導体製造装置

耐荷重に優れた台はかりロードセル　　架台キャスター付きのため大型容器の計測に最適　

• 重量関連測定器
• はかり
• その他半導体製造装置

加工の一体化的な装置化！自動切断による生産効率を向上したレーザーシステム

• 基板加工機
• タッチパネル
• エッチング装置

高速加工による高効率！LD励起固体UVレーザー搭載のレーザーシステム

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置