加熱装置・炉の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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マルチ雰囲気炉｜露点制御・湿潤雰囲気による金属表面処理

露点・酸素濃度を管理し、金属表面の酸化防止・改質・前処理に対応

工業炉

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Cl2・H2・NH3・O2・加湿などの多様な焼成テストに対応

塩素・還元・酸化・NH3・加湿など、特殊雰囲気での焼成可否を設備導入前に確認

工業炉

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N₂・Ar雰囲気焼成の炉選定｜酸化抑制・不活性熱処理に対応

酸化を抑えるためのガス種・置換条件・炉構成を整理

工業炉

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O₂・Air雰囲気焼成の炉選定｜酸化・脱脂・熱分解評価に対応

酸化・脱脂・熱分解に適した炉種と排気対策を整理

工業炉

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Cl₂・HCl特殊雰囲気焼成の炉選定｜塩化反応・腐食評価に対応

腐食性ガスを用いる焼成条件と安全仕様を整理

工業炉

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焼成テストの進め方｜サンプル別に炉・治具・容器を選定

粉末・基板・治具・部品に合った焼成テスト条件を整理

工業炉

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小型カーボン炉｜低酸素・超高温処理が求められる背景

乾式還元・黒鉛化・炭化処理に向けた、小型カーボン炉の開発背景を解説

工業炉

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管状炉｜セラミックス焼成中の温度・流量・圧力を見える化

焼成中の温度・流量・圧力を同期記録し、条件出しを効率化

工業炉

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管状炉｜触媒活性化・反応挙動評価に対応

温度・流量・圧力・排気を同期記録し、触媒活性化条件を見える化

工業炉

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カーボン炉｜極低酸素・3000℃級の高温焼成に対応

極低酸素雰囲気で、黒鉛化・炭化・窒化・高温改質を再現性よく

工業炉

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マルチ雰囲気炉｜湿潤・加湿雰囲気での反応焼成に対応

Wetter直結の加湿制御＋真空置換で、露点・酸素分圧・ガス種を精密制御

工業炉

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マルチ雰囲気炉｜反応条件を雰囲気×温度で精密設計

真空置換→N2/Ar/H2/NH3/加湿まで、雰囲気を切替えて反応条件を再現

工業炉

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管状炉｜反応挙動を見える化する試験炉

流量・圧力・物温・排気を同期記録し、反応開始〜終了を見える化

工業炉

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メタル炉｜セラミックスや金属のろう付けを高純度雰囲気で

セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、クリーン雰囲気で強固に封着

工業炉

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メタル炉｜高純度アニール・表面改質に対応